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1 マラビロク(茸) [US] :2021/03/11(木) 08:08:11.55

サムスンが液体フッ化水素を再利用する技術を開発、「日本依存」解消に期待の声

2021年2月15日、韓国・マネートゥデイは、サムスン電子が半導体洗浄に使用される液体フッ化水素を再利用するシステムを開発し、テスト運営に入ったと伝えた。

半導体業界によると、サムスン電子が開発したのはフッ化水素洗浄液を内部循環装置で回収し再利用するというシステムで、華城(ファソン)半導体事業場の1ラインでテスト運営を行っている。本来、洗浄液は1回使用した後、化学排水処理の過程を経て排出されるが、再利用を導入することでそれだけ廃棄物を減らすことができる。

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